表面轮廓仪俗称台阶仪，台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器，因此又被称为：探针式表面轮廓仪，三维轮廓仪， 表面形貌测量仪等。

Alpha-Step D-300系列提供了高分辨率的2D分析, 2D应力、剖面拼接，(D-600选配高分辨率的3D 分析)以及更多易于操作、性价比高的功能，使其服务于各个行业的研发和生产环境。

能够处理范围广泛的测量和应用：

• 精确的台阶高度

• 表面形态，弓形

• 表面结构

• 材料特性

• 薄膜应力

KLA表面轮廓仪在太阳能电池方面的应用举例：

随着太阳能电池生产的发展，为了满足成本和效率的要求，需要克服一些困难，而基于探针接触式的测量仪是解决光伏行业重要计量要求的理想工具。

参考文献：

1. “Photovoltaic Activities”, Gaetan Rull and Jean-Chrisophe Eloy. Yole Developpment, 2006. 

2. “Material Science of Thin Films”, Chapter 12, p 711-712, Milton Ohring, 2nd Ed., 2002.

 Profilm 3d 光学轮廓仪

Filmetrics让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用最先进的垂直干涉扫描(WLI) 与高精度的相位干涉(PSI)技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。

主要应用

台阶高度

表面粗糙度

线宽及轮廓

 R50电阻率测试仪

Filmetrics R50 是KLA电阻测试家族的最新产品。电阻测量和监控对于任何使用导电薄膜的行业都至关重要，从半导体制造到可穿戴技术所需的柔性电子产品。R50在金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻 率分布、以及非接触膜厚等量测均进行了优化加强。