品牌	产地	展示型号
品牌1	Allwin21	美国	AccuThermo AW610 快速退火炉	详情请来电咨询

品牌：Allwin21（美国）

AccuThermo AW610 快速退火炉

Ø 尺寸适用范围：小样片及6英寸以下圆片

Ø 传片方式：手动

Ø 类型：台式，常压保护气氛快速退火系统

Ø 温度适用范围：100 ~ 800 °C 或 450 ~ 1250 °C

Ø 气路配置：根据客户需求配置MFC量程，最多可配备6路

AccuThermo AW 610 概述:
AccuThermo AW610是一款用高强度可见光加热单片wafer或样片的快速退火系统，其工艺时间短，控温精度高。工艺稳定时间最大可设置到9999秒，一般推荐1-600秒。

相对于传统的炉管式退火系统，其独特的水冷腔体设计、先进的温度控制技术以及Allwin21研发的RTAPRO软件控制系统，确保了优越的温度均匀性。

工艺时，wafer放置在独立的石英腔体内的石英载盘上，通过软件操作手动或自动加热模式控制上下两排的四组灯管对wafer进行加热。

RTAPRO软件可以全方位控制、监控AccuThermo快速退火系统，允许工程师自由创建、编辑工艺菜单,通过调整时间、温度、工艺气体流量等参数，控制工艺流程

AccuThermo AW 610主要特点：

1. 水冷镀金腔体设计在过去30年里已得到业内认可 (►)

2. 上下两排灯管加热保证了优越的温度均匀性 (►)

3. 提供两种测温方式（非接触式高温计或热电偶传感器）并采用了闭环温度控制设计 (►)

4. 实时显示温度曲线，适合特殊工艺需要(►)

5. 传统技术无法实现的快速升温、降温速率

6. 稳定的片间工艺重复性

7. 隔离的石英腔体结构避免了外部污染

8. 体积小、能耗少

9. 集所有控制为一体的操作软件 (►)

ü 图形用户界面 (►)

ü 实时工艺过程数据采集 (►)

ü 实时工艺曲线 (►)

ü 工艺数据分析 (►)

ü 工艺数据及菜单存储于计算机硬盘 (►)

ü 多步骤的工艺菜单编辑 (►)

ü 工艺菜单编辑操作简单 (►)

ü 系统诊断功能 (►)

ü 腔体校准功能易于实现温度平滑控制 (►)

ü 高温计软件校准操作简单、方便 (►)

ü 气路流量软件校准操作简单、方便 (►)

ü C通道软件校准操作简单、方便 (►)

ü 功率监测功能，保证良好的工艺重复性 (►)

ü 丰富的硬件诊断功能，方便设备维护及维修 (►)

ü 软件“看门狗”功能，可以及时切断灯管电源，有效防止温度失控

应用：

AccuThermo 快速退火系统的应用:

ü 离子注入激活

ü 多晶硅退火

ü 氧化回流

ü 硅化物形成

ü 欧姆接触合金

ü 氧化物、氮化物生长

ü 砷化镓工艺