品牌：PVA（德国）

SAM 302 双探头扫描

说明：

1.德国 PVA Hibert Filter- 外置滤波器（软件开关控制，用于110MHz 以上延迟性探头使用）

2.  各种样品吸盘、夹具定制、半自动化设备升级

3. 专业图像处理与计算软件（空洞率计算和颗粒度分析，不仅适用于超声波扫描显微镜，同时可用于电镜、光学显微镜、 共聚焦显微镜、   X-Ray 等众多显微检测设备）

 图为左右排列双探头，每个探头各扫描1个6' Wafer

 双探头扫描系统（双探头可左右排列或前后排列），成倍提高检测效率

主要技术参数：

一  机械部分：

1. X/Y 两轴均为超高速、线性马达驱动系统, X / Y 轴内置磁力机构；

2. 配有防震系统与惯性平衡机构，隔绝在高速扫描过程中振动影响，确保图像不会因快速扫描而失真；

3. Z 轴行程大于100mm

4. Z轴自动对焦，不仅可以自动对焦到样品表面，而且同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 逐层自动对焦可设定步距，Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描；

5. 双探头可同时扫描，每个探头扫描范围：最小0.20 mm  × 0.20 mm ；最大 > 320 mm × 320 mm；可自定义扫描区域，可任意输入或框选扫描面积（正方形，长方形，矩形）；同时还能自定义序列扫描，跳过没有样品的空白位置；可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸，自动设定扫描范围；

6. 最大扫描速率：1,500 mm/s

7. 重复精度：+/- 0.1μm

8. 标准工作水槽尺寸：670 *600 * 70mm 或670 * 600 * 150mm 或定制加长工作水槽，配置工字形样品台

二  电子部分:

1. DPR 500 超声波接收和发射器频率带宽：500MHz

2. ADC卡采样频率：1.25G/秒 ( 2G   5G 可选配）

3. 前置放大器：L2，H2，H3（选配）

三 软件部分: 最新Winsam 8 超声扫描成像软件，部分功能介绍：

1.  主要扫描模式包括：A扫描（点扫描）、B扫描、C扫描、多层C扫描、在不同的Z高度进行连续的C扫描、多重门限扫描、透射扫描、托盘扫描、、顺序扫描、高清晰扫描、表面跟踪扫描、实体扫描、分频扫描、覆盖扫描等；透射扫描模式选件：Through Scan 透射扫描固定单元及接收探头；

2. 表面稳定功能：可消除或减弱样品表面刻字，激光打标等对样品内部超声波信号所带来的影响;

3. 图像输出格式：tiff, bmp, jpeg, png 等;  tiff格式能一键存储保存所有的扫描参数，可在下一次扫描时调用；

4．定量测量功能：X -Y 长度测量、厚度与距离测量、缺陷百分比计算：可根据样品的实际轮廓（圆形，矩形，不规则形）进行缺陷面积百分比统计分析，样品扫描后可提供缺陷尺寸列表并输出报告，点击列表中任一行可显示该缺陷在扫描图像上的X/Y 区域，便于进一步分析和定位缺陷等；

5. 图像着色功能：根据相位翻转自动着色；根据灰度等级手动着色；根据渡越时间手动着色，根据厚度变化手动着色（已知材料的阻抗值）

6.  报告生成：扫描后生成扫描分析报告，报告中包含：最终扫描图片、各种扫描参数设置、样品的A扫描波形图等；

7．软件可显示探头在水槽中的X/Y/Z三维坐标和当前所设定的扫描范围；

8．用户可自主选择XY轴移动方向、各种探头回位方式、以何种方式调用之前扫描保存的图片来获得扫描参数等；

9. 射频增益窗口：-22dB -50dB ,高级菜单设置

10. 图像分辨率：最高可支持32000 * 32000 像素 

品牌：Sonoscan（美国）

GEN5 C-SAM

简介：

GEN5 C-SAM系列是一款超声微成像系统，它通过向被测物体表面辐射高频声波，通过声波在不同介质的表面反射和折射的能量变化，并将其转化为信号，在显示器上显示出来，来判断被测物体的好坏。

GEN5超声扫描显微镜是最新的AMI创新产品。它有着尖端的技术，先进的特征和最新的人体工程学设计，将超声扫描带到了一个更高的高度。GEN5提供最大范围的应用能力。无论你是想要做倒装焊或者晶圆的非破坏性测试，工艺开发，R&D,高质量的军工用品，Gen5是一款可以满足要求的设备。Virtual Rescanning Mode (VRM), TurboSpeed和Frequency Domain Imaging (FDI)是他们的专利技术，他们也具有大的视场，深腔扫描的能力，使得观察区域可以达到300mm晶圆或者两个JEDEC托盘大小区域。

另外，它的设计符合人体工学的要求，先进的软件设计和智能设计在给客户最好结果的同时节省操作者的时间，深腔照明和检测设计方便上下样品，GEN5是一款最具特色的超声检测设备。

特征：

1. 虚拟二次扫描模式 (VRM)， 收集并以数字形式储存广泛的声学数据，从而可以执行完整的样品分析，即使在没有可用样品的情况下，也能进行分析。

2. TurboSpeed专利技术，在高频率下可提供较快成像速度，在高像素密度下，图像采集速度可增加2.5X。

3. 数字图像分析器 (DIA) ：采用先进算法，量化接口数据，并帮助建立精确和自动的接受/拒收标准。

4. 防静电的安全和超净环境

5. 开放空间的深腔观察区域使得上下板非常灵活，并能够扫描两个JEDEC托盘或者300mm晶圆

6. 惯性平稳扫描装置设计，可进行超高速和无振动扫描

7. 多种语言版本的操作软件和声学检测接口，包括英语，汉语和日语，方便技术工人的操作

非破坏性内部检测的领导者

自从它成立以来，SONOSCAN致力于研究AMI(Acoustic Micro Imaging)技术来帮助客户实现高质量的生产，Sonoscan仍然是最值得信赖的非破坏性内部检测和分析的专家，并且是拥有世界上AMI最多专利的生产商。

SONOSCAN提供：

ü 高品质图像传输

ü 非凡的数据处理精度

ü 超越的技术专利