品牌：赛默飞世尔（美国）

X射线光电子能谱仪（Thermo Scientific K-Alpha+）

表面元素化学鉴别和定量

X射线光电子能谱（XPS，也被称为化学分析电子能谱——ESCA）是一种极

其表面敏感的定量元素化学分析手段，用于解决各种领域的材料问题。

XPS基于光电效应，通过检测材料表面被X光激发出来的电子的动能，回溯

得到材料内部的本征的电子结合能信息，这些信息反映了材料中各种元素

及其价态的指纹信息。

只有十分靠近材料表面的电子才能不损失太多能量逃逸出来，因此XPS的信

息来自于材料表面几个nm的尺度。正是该技术的极其表面敏感性以及化学

定量分析能力，使得XPS成为一种重要的表面分析手段。

产品特点

1. 领先的分析性能

ü 定量光谱成像

ü 快速并行成像，分辨率优于3um

ü 非惯性探测器

ü 微区获谱，尺度小于6微米

ü 最佳灵敏度和能量分辨率

ü 微聚焦单色器

ü 化学态成像分析

ü 自控高通量离子剖析源

ü 全能电荷补偿

2. 操作简化

ü 先进的自动化

— 分析区域和角度分辨可选

— 自动化气体调节和真空控制

ü 按需校准

— 能量的刻度和输运函数的校准

— 离子枪定位和离子束聚焦

ü 点击式样品导航和分析设置

— 实时显示分析位置

— 高强度照明

3. 灵活的设计

ü ISS和REELS为标准配置

ü 多功能进样室为标准配置

ü UPS和AES/SEM/SAM可选

ü 可选的样品预处理附件，包括：

— 样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器

— 样品加热/冷却装置

— 溅射清洁离子枪

— 蒸发源

— 高压反应室

重要应用领域

ü 玻璃涂层

ü 聚合物

ü 电池

ü 石墨烯

ü 太阳能电池

ü 有机LED

ü 金属和氧化物

ü 生物医药

ü 超薄薄膜

ü 半导体

ü 陶瓷材料

ü 催化剂