18202964122
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品牌 |
产地 |
展示型号 |
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品牌1 |
Allwin21 |
美国 |
AccuThermo AW610 快速退火炉 |
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AccuThermo AW610 快速退火炉
Ø 尺寸适用范围:小样片及6英寸以下圆片
Ø 传片方式:手动
Ø 类型:台式,常压保护气氛快速退火系统
Ø 温度适用范围:100 ~ 800 °C 或 450 ~ 1250 °C
Ø 气路配置:根据客户需求配置MFC量程,最多可配备6路
AccuThermo AW 610主要特点:
1. 水冷镀金腔体设计在过去30年里已得到业内认可 (►)
2. 上下两排灯管加热保证了优越的温度均匀性 (►)
3. 提供两种测温方式(非接触式高温计或热电偶传感器)并采用了闭环温度控制设计 (►)
4. 实时显示温度曲线,适合特殊工艺需要(►)
5. 传统技术无法实现的快速升温、降温速率
6. 稳定的片间工艺重复性
7. 隔离的石英腔体结构避免了外部污染
8. 体积小、能耗少
9. 集所有控制为一体的操作软件 (►)
ü 图形用户界面 (►)
ü 实时工艺过程数据采集 (►)
ü 实时工艺曲线 (►)
ü 工艺数据分析 (►)
ü 工艺数据及菜单存储于计算机硬盘 (►)
ü 多步骤的工艺菜单编辑 (►)
ü 工艺菜单编辑操作简单 (►)
ü 系统诊断功能 (►)
ü 腔体校准功能易于实现温度平滑控制 (►)
ü 高温计软件校准操作简单、方便 (►)
ü 气路流量软件校准操作简单、方便 (►)
ü C通道软件校准操作简单、方便 (►)
ü 功率监测功能,保证良好的工艺重复性 (►)
ü 丰富的硬件诊断功能,方便设备维护及维修 (►)
ü 软件“看门狗”功能,可以及时切断灯管电源,有效防止温度失控
应用:
AccuThermo 快速退火系统的应用:
ü 离子注入激活
ü 多晶硅退火
ü 氧化回流
ü 硅化物形成
ü 欧姆接触合金
ü 氧化物、氮化物生长
ü 砷化镓工艺